2NM Dismutation in df
Advanced Dismutation (Integrated with MDC) is targeted at equipment which can be tracked by part-id and is expected to require pm (e.g., metrology equipment). It...
Advanced Dismutation (Integrated with MDC) is targeted at equipment which can be tracked by part-id and is expected to require pm (e.g., metrology equipment). It automatically determines the equipment FM (direct or derived) and current LOC (via FM). Meanwhile, the prediction model can predict remaining life (r2r direct data, log data and/or DF data can be used as input for FM evaluation). In short, (a) Equipment FM and current LOC can be derived , (b) equipment RM can then be determined by the Mahalanobis distance between the current LOC and failure threshold line, and (C) PM timing can be determined accordingly. (positively considered) (Intelecon) (3/6/2022) (Q2 2022)1. Project Owner: Sam Yeh2. Beneficiary: UMC Fab8i
- Prediction Model : Yes
- Prediction Type : Classification
- Output Variables : Classes (Need PM or Not)
- Input Variables : Process Parameters and Data Files
- Events per Year : -
- False Alarm : -
- Missed Alarm : -
- Prediction Lead Time : 2 – 4 Weeks
- Prediction Accuracy% : > 85%
- Model Training & Update Frequency : Day (Online)
- Achieved Benefit : PM Cost down (>30%) and Cycle Time reduction (>5%)
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